深圳盛方推出國產1000Hz準分子激光器——高重頻準分子激光器
來源：盛方科技作者：admin發布時間：2025-11-19 16:14:52
深圳圳盛方科技新產品---FBG1kHz來了！
此款準分子激光器重復頻率為1-1000Hz可調，可應用于光柵光纖刻寫、光學測試、光掩模檢查等。
波長可選193/248nm，最大重復頻率有200/500/1000Hz三種可選。該產品設計緊湊，體積??；磁開關設計，使用壽命更長；高重復頻率，能量穩定性好；有內觸發和外觸發兩種方式。
具體參數如下：
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介質氣體 |
ArF |
KrF |
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波長(nm) |
193 |
248 |
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最大單脈沖能量(mJ) |
12 |
16 |
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平均功率(W) |
2/5/8 |
2.5/6/12 |
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最大重復頻率(Hz) |
200/500/1000 |
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脈沖寬度(FWHM, ns) |
5±2，10（1000Hz） |
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能量穩定性（sigma %） |
2 |
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光斑尺寸(mm)(V*H) |
（5.7±0.5）×（2.5±0.5） |
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發散角(mrad)(V*H) |
（2.25±0.5）×（1±0.5） |
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產品尺寸(mm)(L*W*H) |
804.5 ×373 ×667 |
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重量(kg) |
135 |
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電源要求 |
220V, 50Hz, 10A |
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冷卻方式 |
風冷（≤200Hz）/水冷（＞200Hz) |
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交互方式 |
控制系統：RS232（液晶屏/PC） |
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外部觸發：電信號 |
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